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北航電阻沉積爐4
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電阻沉積爐

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  真空電阻爐是在真空或保護氣體狀態下工作,利用電阻加熱使石墨發熱體發熱,進而產生高溫,用于材料制備。一般而言,石墨發熱體對置于均溫區的基體進行輻射加熱,在一定真空度下按照升溫工藝升至規定溫度,期間通入工藝所需的氣體,并保持一定壓力。

真空電阻爐的特點:

  1. 采用中頻感應加熱,溫控精度高,輻射加熱效率高;

  2. 采用特殊形式的保溫,熱損失小,熱效率高;

  3. 設置多重連鎖保護,安全性高;

  4. 智能HMI人機對話,可實現自動化、半自動化、人工操作等多種模式;

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